1、分子筛制氮气设备
制氮机以碳分子筛(CMS)为吸附剂，采用常温下变压吸附原理(PSA)分离空气制取高纯度的氮气。使用两吸附塔并联，由进口PLC控制进口气动阀自动运行，交替进行加压吸附和解压再生，完成氮氧分离，获得所需高纯度的氮气。
2、膜分离制氮气设备
使具有一定压力的空气通过膜组件，利用氧气和氮气渗透中空纤维膜的速率不同的特点，有选择性地将压缩空气中的氧气和氮气进行分离，使得氮气在膜组件滞留侧被富集的方法。
中空纤维膜：能进行膜分离的由高分子材料制成的中空纤维束与外壳等构成的膜件，是氮氧分离的单体元件。
3、深冷制氮气设备
低温深冷空气分离工艺的原理是在高压低温下将空气液化，根据空气中氧、氮成分的沸点不同，在精馏塔中，经过精馏传质传热，分离液态空气中的氧、氮成分，从而分离出氧氮产品。
传统的低温深冷工艺，有多种不同的工艺流程；随着空分工艺的开发和机械制造的发展，现代的大型空分装置已形成了由压缩空气经分子筛吸附空气中的碳氢化合物，经板翅式换热器换热，通过膨胀机制冷，液化空气在精馏塔中精馏，分离氧、氮、氩产品的典型的全低压空分工艺流程。现代全低压空分工艺根据对氧产品压力的不同需求，可分为全低压空分的内压缩流程和外压缩流程。
